國家智慧財產權局資訊顯示，蘇州敏芯微電子技術股份有限公司取得一項名為“一種MEMS感測器和電子裝置”的專利，授權公告號CN224757979U，申請日期為2025年9月電子。
專利摘要顯示，本申請公開了一種MEMS感測器和電子裝置電子。其中感測器包括：具有相對設定的第一表面和第二表面的底座、具有相連通的第一通孔和第一沉槽的通氣通道、覆蓋第二表面通孔開口的封板；MEMS晶片覆蓋第一表面通孔開口。在第一方向上，封板與第一沉槽投影部分重疊，第一沉槽的投影至少部分位於封板投影外側，槽底與封板之間留有間隙。氣流先進入沉槽，再經間隙折向進入通孔，最終進入MEMS晶片背腔。氣流多次折返，粉塵、助焊劑等雜質因慣性或重力沉積或滯留，難以進入背腔；同時氣流在曲折路徑中速度與衝擊壓力逐級衰減，有效減輕振膜瞬態衝擊載荷。本申請顯著提升了MEMS感測器的抗汙染與抗氣流衝擊能力，提高了器件長期穩定性與可靠性。
天眼查資料顯示，蘇州敏芯微電子技術股份有限公司，成立於2007年，位於蘇州市，是一家以從事水利管理業為主的企業電子。企業註冊資本7831.3521萬人民幣。透過天眼查大資料分析，蘇州敏芯微電子技術股份有限公司共對外投資了14家企業，參與招投標專案29次，財產線索方面有商標資訊9條，專利資訊524條，此外企業還擁有行政許可16個。
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